在化學周期表中,鑭系元素與釔、鈧組成的 17 種稀土元素,憑借 “微量優化材料性能” 的特性,被譽為 “工業維生素”。在半導體產業中,稀土貫穿設備制造、材料研發、先進工藝全鏈條,其作用不可替代。
設備級支撐:EUV 光刻機的晶圓臺依賴釹鐵硼(NdFeB)永磁體實現納米級精度運動,單臺設備需數十公斤稀土磁鋼。光源系統中,釹摻雜釔鋁石榴石(Nd:YAG)晶體用于輔助激光檢測,而鋱鎵石榴石(TGG)晶體則是光學隔離器的核心材料。材料創新突破:氧化鈰(CeO?)拋光劑在化學機械拋光(CMP)中對 SiO?的選擇性去除率是傳統磨料的 3 倍以上;氧化釔(Y?O?)涂層可將刻蝕機部件壽命延長 5 倍。先進制程關鍵:在 3nm 以下節點,鑭摻雜的 HfO?高 k 介質材料可降低晶體管閾值電壓 20%,顯著提升能效比。
2025 年 10 月 9 日,中國商務部發布新規,對涉及 14nm 以下邏輯芯片、256 層以上存儲芯片的稀土出口實施逐案審批,并首次將稀土二次資源回收技術納入管制范圍。此舉直接沖擊三星、SK 海力士等國際巨頭的擴產計劃,據測算可能導致全球高端芯片產能增速放緩 15%。與此同時,國內稀土產業鏈加速自主化:北方稀土的高性能釹鐵硼磁鋼已通過 ASML 認證,用于下一代高數值孔徑 EUV 光刻機;有研稀土研發的氧化銪(Eu?O?)薄膜,實現與 CMOS 工藝兼容的硅基發光器件,打破國外在光電子集成領域的壟斷。
作為中國半導體行業年度盛會, 第二十二屆中國國際半導體博覽會(IC China 2025) 將于 11 月 23-25 日在北京國家會議中心舉辦,首次設立 “稀土半導體材料與設備專區”,集中展示稀土在芯片制造各環節的創新應用。核心亮點前瞻:
政策與產業聯動:展會期間將舉辦 “稀土 - 半導體產業鏈協同發展論壇”,工信部相關負責人將解讀最新管制政策,華為海思、長江存儲等龍頭企業將分享稀土材料的國產化替代進展。
稀土元素正從 “幕后” 走向 “臺前”,成為半導體產業升級的關鍵變量。IC China 2025 作為產業風向標,將集中呈現稀土技術的最新突破與應用場景,為全球半導體從業者提供洞察未來的窗口。隨著中國在稀土資源與技術領域的雙重發力,一場由 “工業維生素” 驅動的科技革命正在悄然開啟。展會信息速覽